#微机电系统 (25)

HiPNUC HI71 战术级紧凑型姿态/惯导模块

超核电子（HiPNUC，北京）HI71 是战术级紧凑型惯性模块，24×24×14 mm 铝合金外壳，板对板连接器易于集成。提供 T2（VRU）、T4（AHRS+气压）、M4（MRU 升沉）、N4（INS 惯导）四种子型号：陀螺仪量程 ±300 °/s、零偏不稳定性 0.3 °/h、噪声密度 XY 轴 0.0004 °/s√Hz；加速度计 ±16 g、零偏不稳定性 10 μg；T4/M4/N4 集成 ±20 Gauss 磁力计与 300~1200 hPa 气压计。俯仰/横滚精度 0.05~0.1°，UART 输出最高 1000 Hz、CAN 200 Hz，支持二进制、CANopen、Modbus、NMEA 协议与 PPS/UTC 同步，供电 3.6~5 V、功耗 370 mW。

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惯性测量单元姿态传感器微机电系统超核电子战术级

HiPNUC HI70 战术级高精度 IMU 传感器

超核电子（HiPNUC，北京）HI70 是战术级高精度惯性传感器，44.8×38.6×18.5 mm 铝合金外壳、重 55 g，出厂全温标定比例因子、跨轴与零偏，抗振性优异。陀螺仪量程 ±300 °/s，零偏不稳定性 0.3 °/h，噪声密度 XY 轴 0.0004 °/s√Hz，3dB 带宽最高 250 Hz；加速度计 ±16 g、零偏不稳定性 10 μg；T3 子型号集成 ±20 Gauss 磁力计。静态/动态俯仰横滚精度 0.05~0.07°，静止 2 小时航向漂移 0.1°。RS-232/RS-422 输出最高 1000 Hz、CAN 200 Hz，支持二进制与 CANopen 协议，宽压供电 4.8~36 V，功耗 400 mW。

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惯性测量单元姿态传感器微机电系统超核电子战术级

HiPNUC HI13 USB Type-C 接口姿态传感器

超核电子（HiPNUC，北京）HI13 是独立铝合金外壳式姿态传感器，26×24×12 mm，USB Type-C 即插即用，全对称设计易于嵌入集成。提供 M0/M3/R2/R3/S2/S3/S4 七种子型号：M/R 系列陀螺仪量程 ±2000 °/s、加速度计 ±24 g，S 系列提升至 ±4000 °/s 与 ±32 g，零偏不稳定性最高 1.6 °/h；三个子型号集成大量程 ±2000 μT 地磁。USB 输出最高 1000 Hz，供电 4.5~5.5 V，功耗 215~300 mW，工作温度 −40~+85 °C，适合需要免开发直接读数的机器人与无人设备。

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惯性测量单元姿态传感器微机电系统超核电子USB

HiPNUC HI06 战术级小体积表贴式 IMU

超核电子（HiPNUC，北京）HI06 是战术级小体积表贴式姿态模块，15×15.2×2.6 mm，全温区标定比例因子、跨轴与零偏。陀螺仪量程 ±4000 °/s，噪声密度 0.0025 °/s√Hz，三轴零偏不稳定性低至 0.9/1.0/1.1 °/h，3dB 带宽最高 400 Hz；加速度计 ±32 g、零偏不稳定性 0.011~0.05 mg；T3/N3 子型号集成 ±2000 μT 磁力计。静态俯仰/横滚精度 0.08~0.12°，UART 输出 1000 Hz、CAN 200 Hz，支持 PPS 与 UTC 同步，供电 3.2~5.5 V、功耗 220 mW，官方提供 ROS、C 与 QT 示例代码。

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惯性测量单元姿态传感器微机电系统超核电子战术级

HiPNUC HI05 全功能低噪声表贴式 IMU

超核电子（HiPNUC，北京）HI05 是全功能低噪声表贴式姿态模块，15×15×2.6 mm、不足 1.5 g，按子型号可选 IMU/VRU/AHRS/INS 与气压计组合。陀螺仪量程 ±4000 °/s，噪声密度 0.0025 °/s√Hz，三轴零偏不稳定性 4/1.5/1.7 °/h，3dB 带宽最高 400 Hz；加速度计 ±32 g、零偏不稳定性 0.012~0.016 mg；R3/N3/R4/N4 子型号集成 ±2000 μT 磁力计，R4/N4 另带 300~1200 hPa 气压计。UART 输出 1000 Hz、CAN 200 Hz，供电 3.2~5.5 V，功耗 195~205 mW，支持 PPS/UTC 时间同步。

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惯性测量单元姿态传感器微机电系统超核电子低噪音

HiPNUC HI02 低成本表贴式 IMU 姿态模块

超核电子（HiPNUC，北京）HI02 是面向成本敏感型移动平台的表贴式六轴姿态模块，尺寸仅 15×15×2.6 mm，全温区出厂温补标定。陀螺仪量程 ±2000 °/s，三轴零偏不稳定性 2.5/3.2/3 °/h；加速度计量程 ±24 g；静态俯仰/横滚精度 0.1~0.2°。UART(TTL) 输出 200 Hz，供电 3.2~5.5 V，工作温度 −40~+85 °C，内置扩展卡尔曼融合算法同时输出标定原始数据与融合姿态，适合扫地机器人、割草机、泳池清洁机等消费级设备的姿态感知。

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惯性测量单元姿态传感器微机电系统超核电子低成本

深圳立创科技 IMU-G-1020-S 六轴工业 IMU 模组（HiPNUC HI14 内核）

IMU-G-1020-S 是深圳立创科技（SZLIGHT/SZLCTEK）推出的工业级六轴 IMU 模组，紫色 PCB（V1.0，2025-08-29），核心为 HiPNUC HI14 系列 MEMS 惯导芯片（丝印 HIPNUCHI14）。HI14 家族提供陀螺仪 ±2000~±4000 °/s、加速度计 ±24~±32 g 量程，板载融合输出欧拉角与四元数，UART/USB 数据率最高 1000 Hz，-40~+85 °C 全温补偿，面向户外恶劣环境。本板通过 8 针连接器引出 5V/GND、TXD/RXD、RSYNC 同步与 RS-485（485A/485B），可用于机器人姿态感知与定位定姿。模组厂商暂无公开页面，核心参数以 HiPNUC HI14 官方规格为准。

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惯性测量单元微机电系统六轴SZLIGHT深圳立创科技

HiPNUC HI12 工业级六轴 IMU 姿态模块

超核电子（HiPNUC，北京）HI12 是面向机器人领域的小型工业级六轴 IMU 模块，被厂商官方列于人形机器人与机器狗方案页。陀螺仪量程 ±2000 °/s，H1 级三轴零偏不稳定性 2.5/3.2/3 °/h；加速度计量程 ±24 g，零偏不稳定性 0.021~0.032 mg；静态横滚/俯仰精度 0.15~0.2°。UART 输出 1000 Hz、CAN 200 Hz，尺寸仅 22×22×10 mm，供电 3.2~5.5 V，功耗 240~300 mW，工作温度 −40~+85 °C，适合人形机器人、机器狗与小型移动平台的姿态估计与运动控制。

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惯性测量单元姿态传感器微机电系统超核电子人形机器人

Bosch Sensortec BMI088 高性能六轴 IMU

Bosch Sensortec（德国）BMI088 是专为无人机与机器人设计的高性能惯性测量单元，对三个正交轴的取向与运动进行高精度测量，具备出色的温度稳定性。加速度计量程 ±3/±6/±12/±24 g 可选，16-bit 分辨率 0.09 mg，噪声密度 175 µg/√Hz，带宽可编程 5~523 Hz；陀螺量程 ±125 至 ±2000 °/s 可选，16-bit 分辨率 0.004 °/s，噪声密度 0.014 °/s/√Hz，输出数据率 12.5 Hz~2 kHz；加速度计零偏 ±20 mg、陀螺零偏 ±1 °/s（寿命内典型），温漂分别 ±0.2 mg/K 与 ±0.015 °/s/K。SPI/I²C 接口，VDD 2.4~3.6 V，全速工作电流 5.15 mA，工作温度 -40~+85 °C，是穿越机、机器狗与人形机器人飞控/姿控的经典选型。

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惯性测量单元六轴微机电系统Bosch无人机

TDK InvenSense ICM-42688-P 高性能六轴 IMU

TDK InvenSense ICM-42688-P 是面向机器人与高性能 IoT 的旗舰六轴 SmartIndustrial™ MotionTracking MEMS 器件，集成三轴陀螺与三轴加速度计。陀螺噪声仅 2.8 mdps/√Hz、加速度计噪声 70 µg/√Hz，低噪声模式下六轴功耗低至 0.88 mA；陀螺全量程可选 ±15.6 至 ±2000 dps，加速度计 ±2/±4/±8/±16 g 可选，支持用户可编程数字滤波。主机接口支持 12.5 MHz I3C、1 MHz I²C 与 24 MHz SPI，薄型 2.5 × 3 × 0.76 mm 14-pin LGA 封装，兼容六轴器件引脚升级。官方明确面向 AR/VR/XR、机器人与高性能 IoT，是人形机器人、机器狗关节与本体姿态感知中应用最广的消费/工业级 IMU 之一。

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惯性测量单元六轴微机电系统TDK InvenSense人形机器人

Safran STIM300 战术级高精度 MEMS IMU

Safran Navigation & Timing（原挪威 Sensonor）STIM300 是小型、轻量、高性能的无 GPS 辅助战术级 MEMS 惯性测量单元：内置 3 个高精度 MEMS 陀螺、3 个高稳定加速度计与 3 个倾斜计，全温区出厂标定补偿。陀螺量程 ±400 °/s（输出饱和 ±480 °/s）、带宽 262 Hz、采样最高 2000 samples/s，Allan 方差零偏不稳定性 0.3 °/h、角度随机游走 0.15 °/√h、温漂漂移率稳定性 3 °/h；±10 g 加速度计零偏不稳定性 0.04 mg、速度随机游走 0.07 m/s/√h；轴间失准仅 1 mrad。5 V 单电源、功耗 1.5~2 W、RS422 接口，整机 55 g，ITR-free（无出口管制），是 FOG 级性能的高性价比替代，用于人形机器人、机器狗、无人系统与稳定平台的高精度导航。

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惯性测量单元战术级微机电系统SafranSensenor

ADI ADIS16501 精密 MEMS IMU

Analog Devices（美国）ADIS16501 是精密微型 MEMS 惯性测量单元：三轴数字陀螺量程 ±500 °/s，运行时零偏稳定性 2.7 °/h，X/Y 轴角度随机游走 0.15 °/√hr (1σ)，轴间失准 ±0.25°；三轴数字加速度计量程 ±14 g，X/Y 轴零偏稳定性 12.7 µg。每轴均经灵敏度、零偏、轴对准、线性加速度（陀螺 g 偏置）与敲击点（加速度计位置）出厂标定，SPI 接口与寄存器结构简化集成，支持自动/手动偏置校正；耐受 1500 g 机械冲击，工作温度 -40~+105 °C，100 球 BGA 封装。官方提供 Linux 驱动、ROS2 驱动与 PyADI-IIO，是人形机器人、机器狗与工业移动平台姿态/SLAM 的主流选型。

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惯性测量单元微机电系统ADI精密级人形机器人

ADI ADIS16505 精密微型 MEMS IMU

Analog Devices（美国）ADIS16505 是 iSensor 系列精密微型 MEMS 惯性测量单元，提供 ±125/±500/±2000 °/s 三档陀螺量程型号（ADIS16505-1/2/3）。ADIS16505-1 运行时零偏稳定性 2.3 °/h，X/Y 轴角度随机游走 0.13 °/√hr (1σ)，轴间失准误差 ±0.25°；三轴数字加速度计量程 ±78.4 m/s²（±8 g），全轴出厂标定灵敏度、零偏与轴对准（标定温区 -40~+85 °C）；SPI 接口，支持自动/手动偏置校正，工作温度 -40~+105 °C，封装约 15 × 15 × 5 mm（100 球 BGA）。是人形机器人、机器狗与自主平台高精度姿态估计、SLAM 和控制的常用核心传感器。

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惯性测量单元微机电系统ADI精密级人形机器人

ADI ADIS16470 宽动态范围微型 MEMS IMU

Analog Devices（美国）ADIS16470 是 iSensor 系列宽动态范围微型 MEMS 惯性测量单元，将三轴数字陀螺仪与三轴数字加速度计及信号调理电路集成于约 11 × 15 × 11 mm 的 44 球 BGA 封装。陀螺量程 ±2000 °/s，运行时零偏稳定性 8 °/h，速率噪声密度 0.008 °/s/√Hz；加速度计量程 ±40 g；全轴出厂标定灵敏度、零偏与轴对准（标定温区 -10~+75 °C），SPI 接口通信，支持自动/手动偏置校正，工作温度 -25~+85 °C。凭借高动态与低漂移，ADIS16470 广泛用于人形机器人、机器狗、无人机与移动平台的 SLAM、姿态估计和稳定控制。

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惯性测量单元微机电系统ADI战术级人形机器人

维特智能 WT61 六轴 IMU 姿态测量模块

维特智能（Wit Motion，深圳）WT61 是基于 MEMS 技术的高性价比三维运动姿态测量系统，内置三轴陀螺仪与三轴加速度计，通过自研卡尔曼滤波与传感器融合算法，实时输出最高 100 Hz 的经过温度补偿的三轴姿态角。加速度计量程 ±16 g、分辨率 0.0005 g/LSB、100 Hz 带宽下 RMS 噪声 0.75~1 mg；陀螺量程 ±2000 °/s、RMS 噪声 0.05 °/s；横滚/俯仰精度 0.2°、静态航向精度 0.5°（六轴算法）。模组带金属屏蔽壳，抗干扰好、安装简便，是人形机器人、机器狗、AGV、云台与教学科研中最常用的入门级 IMU 之一。

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惯性测量单元六轴姿态传感器微机电系统维特智能

维特智能 WT901 九轴 IMU 姿态传感模块

维特智能（Wit Motion，深圳）WT901 是其经典九轴姿态测量模组，集成三轴加速度计、三轴陀螺仪与三轴磁力计，基于 MEMS 技术与自研卡尔曼滤波/传感器融合算法，实时输出最高 200 Hz 的三轴角度、角速度、加速度、磁场与四元数。加速度计量程 ±16 g、分辨率 0.0005 g/LSB、100 Hz 带宽下 RMS 噪声 0.75~1 mg；陀螺量程 ±2000 °/s，零偏不稳定性（Allan 方差）2.24 °/h、零偏稳定性 3.19 °/h；横滚/俯仰精度 0.2°、无磁干扰时航向精度 0.1°；UART 115200 bps 默认通信，工作温度 -40~+85 °C。体积小、价格亲民，广泛用于人形机器人、机器狗、无人机与教学科研的姿态估计和运动控。

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惯性测量单元九轴姿态传感器微机电系统维特智能

Movella (Xsens) MTi-620 工业级垂直参考单元 VRU

Movella（Xsens）MTi-620 工业级垂直参考单元（VRU），直接输出 roll/pitch（0.2 deg RMS）与低漂移航向参考，陀螺量程 2000 deg/s，宽压 4.5-24 V 供电、UART/CAN/RS232 接口，适用于车载天线稳定、平台调平与机器人姿态控制。

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垂直参考单元工业级姿态参考微机电系统平台稳定

Movella (Xsens) MTi-610 工业级 IMU 模块

Movella（Xsens）MTi-610 是工业级 IMU 模块，提供标定三轴加速度/角速度/磁场输出与 Strapdown 积分，陀螺量程 2000 deg/s，支持 UART/CAN/RS232 接口与 4.5-24 V 宽压供电，适用于巡检机器人、AGV 与工程机械等工业惯性测量场景。

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惯性测量单元工业级微机电系统惯性测量自动导引车

Movella (Xsens) MTi-2 微型垂直参考单元 VRU

Movella（Xsens）MTi-2 是与 MTi-1 同尺寸的微型垂直参考单元（VRU），在标定 IMU 数据基础上直接输出无漂移 roll/pitch 姿态角，陀螺量程 2000 deg/s、零偏稳定性 6 deg/h，重量仅 0.6 g，适合云台稳定、机器人姿态感知与天线对准等应用。

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垂直参考单元姿态参考微机电系统惯性测量云台稳定

Movella (Xsens) MTi-1 微型 IMU 惯性测量模块

Movella（Xsens）MTi-1 是超微型自持式 IMU 模块，尺寸仅 12.1×12.1×2.55 mm、重 0.6 g，提供标定后的三轴加速度、角速度与磁场数据，零偏稳定性 6 deg/h、噪声密度 0.003 °/s/√Hz，支持板载 Strapdown 积分，适用于无人机、机器人等对体积重量极度敏感的惯性感知场景。

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惯性测量单元惯性测量微机电系统微型无人机

Movella Xsens MTi-2 超紧凑 VRU 垂直参考单元

Movella(原 Xsens)MTi-2 是超紧凑工业级 VRU:仅 0.6 g、12.1×12.1×2.55 mm,Roll/Pitch 0.5° RMS,陀螺量程 2000°/s、零偏稳定性 6°/h、噪声密度 0.003°/s/√Hz;板载磁力计与 strapdown 积分,2.8-3.6 V 供电、功耗 <100 mW,UART/SPI/I²C 接口、最高 1 kHz 输出,为微型无人机、云台与巡检机器人提供低漂移 roll/pitch 姿态。

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惯性测量单元垂直参考单元姿态微机电系统超紧凑

Movella Xsens MTi-1 超紧凑工业级 IMU

Movella(原 Xsens)MTi-1 是超紧凑工业级 IMU:仅 0.6 g、12.1×12.1×2.55 mm,陀螺量程 2000°/s、零偏稳定性 6°/h、噪声密度 0.003°/s/√Hz;板载磁力计,2.8-3.6 V 供电、功耗 <100 mW,UART/SPI/I²C 接口、最高 1 kHz 输出,为微型无人机、云台与巡检机器人提供校准加速度、角速度与磁数据,并经板载 SDI 解算输出姿态。

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惯性测量单元惯性测量微机电系统超紧凑无人机

Movella Xsens MTi-3 超紧凑 AHRS 姿态航向参考系统

Movella(原 Xsens)MTi-3 是超紧凑工业级 AHRS:仅 0.6 g、12.1×12.1×2.55 mm,陀螺量程 2000°/s、零偏稳定性 6°/h、噪声密度 0.003°/s/√Hz,Roll/Pitch 0.5° RMS、Heading 2° RMS;板载磁力计,2.8-3.6 V 供电、功耗 <100 mW,UART/SPI/I²C 接口、最高 1 kHz 输出,为微型无人机、云台与巡检机器人提供真北参考航向。

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惯性测量单元航姿参考系统惯性导航微机电系统超紧凑

Movella Xsens MTi-320 工业级 VRU 垂直参考单元

Movella(原 Xsens)MTi-320 是工业级 MEMS VRU 垂直参考单元:陀螺量程 2000°/s、带宽 230 Hz,Roll/Pitch 精度 0.5° RMS,IP51 防护,-40~+85°C 工作温度;PC-ABS 外壳仅 9 g、28×31.5×13 mm,典型功耗 300 mW,4.5-24 V 宽压输入,为巡检机器人、无人机与云台提供低成本高可靠姿态输出,并配套易用的开发套件。

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惯性测量单元垂直参考单元惯性导航姿态巡检